GB11481-1989掩模对准曝光机通用技术条件
发布日期:2024-11-25
标准号:GB 11481-1989
标准名称:掩模对准曝光机通用技术条件
标准类型:国家标准
标准性质:强制性
标准状态:作废
实施日期:1990-03-01
中国标准分类号(CCS):仪器、仪表>>光学仪器>>N38光学设备
替代以下标准:调整为SJ/T 11079-1996
发布日期:2024-11-25
标准号:GB 11481-1989
标准名称:掩模对准曝光机通用技术条件
标准类型:国家标准
标准性质:强制性
标准状态:作废
实施日期:1990-03-01
中国标准分类号(CCS):仪器、仪表>>光学仪器>>N38光学设备
替代以下标准:调整为SJ/T 11079-1996