共振疲劳测试

检测范围

微电机器件、半导体器件等。

检测项目

共振疲劳检测等。

检测周期

一般3-15个工作日出具报告，可加急。

微电机器件在生产、使用和研发等过程中遇到的共振疲劳等问题，中析研究所检测中心可以帮客户进行基于相关技术层面的，有效的分析检测，提供科学严谨公正的检测数据。

参考标准

GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳检测方法

NF C96-050-12-2012 半导体器件 - 微型机电装置 - 第12部分: 使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳检测方法.

IEC 62047-12-2011 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳检测方法

检测流程